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全自動超加工機 在短時間內(nèi)提高軸承R面滑動部的形狀及面粗度 確保砂輪旋轉(zhuǎn)數(shù)的穩(wěn)定性，可任意設(shè)定漲落驅(qū)動中的漲落數(shù)、漲落角度、速度等。

仿生機器人型加工機 穩(wěn)定的定位精度 X軸搭載分辨率為0.05微米的光學(xué)尺度的閉環(huán)規(guī)格 行程尺寸·主軸旋轉(zhuǎn)數(shù)等可選的選項充實 機器機器人一體確保復(fù)原性和位置精度 比機械腳固定多關(guān)節(jié)機器人，確保穩(wěn)定的精度

小型機器人型加工機 從大型機順利過渡到自動化 X軸滑動滾珠螺釘采用浴油方式保持穩(wěn)定加工尺寸 機器機器人一體確保復(fù)原性和位置精度 比機械腳固定多關(guān)節(jié)機器人，確保穩(wěn)定的精度

基于“追求≤±1μm的實際加工精度”的概念而開發(fā)的Android。通過改良，即使在高速加工條件下，亦可最大限度地抑制位移，實現(xiàn)更高精度的加工，其已成長為滿足用戶更高需求的新一代Android。其名為，超高精度高速微細加工機AndroidⅡ。

超高精度高速微細加工機 每個軸都配有兩臺線性電動機。由于其吸力被抵消，并抑制了由線性電動機產(chǎn)生的趨向移動物體和導(dǎo)向面的偏心荷載。 為了應(yīng)對熱源問題，在線圈內(nèi)部和安裝部位采用了雙重冷卻方式。 自帶標(biāo)度反饋：最高分辨率0.00025μm（0.25 nm）通過全閉環(huán)方式，針對指令值進行實際移動距離的絕對校準(zhǔn)，可確保穩(wěn)定的定位功能。